本报讯(记者 李永兰)日前,青海省科学技术厅组织专家对青海黄河上游水电开发有限责任公司承担的企业研究转化与产业化专项“区熔多晶硅棒生产技术研发”项目进行了验收。
专家组认为,项目通过对区熔多晶硅棒生产装备、配套设备、生产技术方案和产品的试用验证的研究,确定了生产工艺并最终实现了量产,对现有电子级多晶硅生产工艺和质量进行了升级,对高端半导体原材料实现国内供应起到了科技支撑作用。
据了解,该项目基于改良西门子法和还原炉运行经验积累的基础上,通过对新型银钢复合板还原炉及电极、喷嘴、尾气工装等关键配套设备的研发,第三方检测机构和下游客户的验证应用指导,确定了区熔多晶硅还原生产工艺技术方案,并对工艺进行了优化,建成了30吨/年的区熔多晶硅棒生产线。项目申请发明专利1项、获得实用新型专利2件。参与制定国家标准2项、行业标准2项。发表科技论文2篇,培养高级工程师2名,工程师20名。

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